为规范微波集成组件生产工厂工艺设计，做到技术优选、安全适用、经济合理、节能环保，制定本标准。
本标准适用于新建、改建和扩建微波集成组件生产工厂工艺设计。
微波集成组件生产工厂工艺设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

1总则
2术语
3总体设计
4厂房设计
4.1厂址选择及布局
4.2建筑
4.3结构
5工艺布局
5.1一般要求
5.2功能区划
6工艺设计要求
6.1一般要求
6.2设备配置
6.3工艺要求
7公用工程
7.1通风、空调与净化
7.2给排水
7.3气体
8电气、照明与通信
本标准用词说明
引用标准名录
附：条文说明